ICP光谱仪主要用于微量/痕量元素的分析，可分析的元素为大多数的金属和硅，磷等少量的非金属，共72种。广泛应用于稀土、贵金属、合金材料、电子产品、医药卫生、冶金、地质、石油、化工、商检、环保以及钕铁硼、硅、硅铁、钨、钼等行业分析检测，可对待测样品进行定性或从超微量到常量的定量分析。
光谱分析过程主要分为三步,即激发、分光和检测：
1、利用等离子体激发光源（ICP）使试样蒸发汽化,离解或分解为原子状态，原子可能进一步电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光。
2、利用光谱仪器将光源发射的光分解为按波长排列的光谱。
3、利用光电器件检测光谱，按测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量分析。
ICP光谱仪分析方法：
1、定性分析
要确认试样中存在某个元素，需要在试样光谱中找出三条或三条以上该元素的灵敏线，并且谱线之间的强度关系是合理的；只要某元素的灵敏线不存在，就可以肯定试样中无该元素。
2、定量分析
工作曲线法，标准样品的组成与实际样品一致，在工作曲线的直线范围内测定，使用无干扰的分析线
3、半定量分析
有些样品不要求给出十分准确的分析数据，允许有较大偏差，但需要尽快给出分析数据，这类样品可采用半定量分析法。ICP光源的半定量分析尚无通用方法，因仪器类型和软件功能而异，应用不广泛。
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