一.SJ6000国产激光干涉仪功能特点
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测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
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SJ6000激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。
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可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
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具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。
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内置各种类国标(GB)、ISO()、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据,并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。
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可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
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测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD(选配)文档。
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安装方便:基本重量为15kg,简单便携。
二.SJ6000国产激光干涉仪技术参数
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稳频精度:0.05ppm
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线性测量精度:0.5ppm(0-40)℃
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线性测量距离:(0-80)m(无需远距离线性附件)
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角度测量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
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测量分辨力:1nm
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动态采集频率:50KHz
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预热时间:≤6分钟
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工作温度范围:(0-40)℃
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环境温度范围:(0-40)℃,环境湿度:0-95%
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三.SJ6000激光干涉仪使用注意事项
1.仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
2、在移动仪器时,为防止导轨变形,应托住底座再进行移动。
3、仪器的光学零件在不用时,应在清洁干燥的器皿中进行存放,以防止发霉。
4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等,如必须擦拭则应当小心擦拭,利用科学的方法进行清洁。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件,应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。
6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况,合理恰当的调整部件。
7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆,保持其不失油。
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